型號

MTS222

MTS223

行程（mm）

30

50

臺面尺寸（mm）

90×90

90×110

導軌

交叉滾珠導軌

螺桿導程（mm）

2.5

分辨率（mm）

0.0002

運動直線度（mm）

0.01

0.012

運動平面度（mm）

0.012

0.015

極限速度(mm/s)

20

重復定位精度（mm）

＜0.005

軸向間隙（mm）

＜0.03

步進電機（1.8°）

42步進電機

極限靜轉矩（Ncm）

20

中心負載（kg）

20

自重（kg）

2.2

2.8

備注

應用真空環(huán)境中，需單獨訂貨